ALEXi 2k2k plus

모델 Model	ALEXi 2k2k plus
이미지 영역 Image area	30.7 mm × 30.7 mm
픽셀 형식 Pixel format	2048 × 2064 pixels
픽셀 크기 Pixel size	15 µm × 15 µm
CCD 센서 냉각 CCD sensor cooling	Min. -90°C to 20°C, forced air or liquid cooling
플랜지 - 초점면 간 거리 Distance flange - focal plane	6 mm with CF DN63 flange
외형 크기 Dimensions (W x H x L)	13.7 cm × 13.7 cm × 13.3 cm (5.39ʺ × 5.39ʺ × 5.24ʺ)
중량 Weight	12.5 kg

모델

Model

ALEXi 2k2k plus BI

특징

Features

- Back-illuminated CCD

최대 전하 저장 용량

Full well capacity

150 k e-

파장 범위

Wavelength Range

EUV, HXR, SXR, VUV

양자 효율 곡선 (QE Curves)
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- 이미지 영역 : 13.3 mm × 13.3 mm
- 픽셀 형식 : 1024 × 1024 (FI) / 1056 × 1027 (others) pixels
- 픽셀 크기 : 13 µm × 13 µm
- CCD 센서 냉각 : Min. -100°C to 20°C, forced air or liquid cooling
- 플랜지 - 초점면 간 거리 : 6 mm with CF DN63 flange
ALEXi 2k2k
- 이미지 영역 : 27.6 mm × 27.6 mm
- 픽셀 형식 : 2048 × 2052 pixels
- 픽셀 크기 : 13.5 µm × 13.5 µm
- CCD 센서 냉각 : Min. -90°C to 20°C, forced air or liquid cooling
- 플랜지 - 초점면 간 거리 : 5 mm with CF DN63 flange
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- 이미지 영역 : 61.4 mm × 61.7 mm
- 픽셀 형식 : 4096 × 4096 pixels
- 픽셀 크기 : 15 µm × 15 µm
- CCD 센서 냉각 : Min. -90°C to 20°C, forced air or liquid cooling
- 플랜지 - 초점면 간 거리 : 27 mm
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