SHIBUYA M iPLAN APO NIR Series Near-IR Objective
450~1,800 nm 가시광·근적외선 보정, 펨토초 레이저 가공 및 명시야 관찰용 무한원 보정 대물렌즈
(Shibuya Optical)
SHIBUYA M-iPLAN-APO NIR Series는 펨토초 레이저와 근적외선 레이저를 이용한 정밀 소재 가공을 위해 설계된 고NA 무한원 보정 대물렌즈입니다. 가시광부터 근적외선까지 색수차와 초점 변화를 보정하여 레이저를 미세한 영역에 안정적으로 집속할 수 있으며, 가공용 근적외선 광원과 관찰용 가시광을 동일한 광학계에서 사용할 수 있습니다. 따라서 레이저 가공 전후의 위치 확인과 명시야 관찰을 위해 대물렌즈를 별도로 교체할 필요가 없으며, 95 mm의 동초점 거리 설계로 배율이 다른 모델을 조합한 장비 구성에도 유리합니다.
기본 NIR 및 고NA NIR-HD 모델은 450~1,800 nm의 넓은 파장 범위에 대응하며, 5배부터 50배까지 필요한 시야와 가공 정밀도에 맞춰 선택할 수 있습니다. 기본 모델의 NA는 0.13~0.55, NIR-HD 모델은 최대 0.67로 구성되며, 작동 거리는 배율과 NA에 따라 44.6~10 mm입니다. 특히 NIR-HD20은 NA 0.42와 20.68 mm의 비교적 긴 작동 거리를 함께 제공하고, NIR-HD50은 NA 0.67과 0.41 µm의 분해능으로 더욱 미세한 관찰과 레이저 집속에 적합합니다. 표기된 분해능과 초점 심도는 0.55 µm 파장을 기준으로 계산된 값입니다.
커버 글라스나 액정 유리를 통과해 관찰·가공해야 하는 경우에는 해당 광학 경로에서 발생하는 수차까지 고려한 전용 모델을 선택할 수 있습니다. M-iPLAN-APO NIR-HD50은 1.8 mm 커버 글라스 조건에 대응하며 커버 글라스가 함께 제공되고, LCD-NIR-HD20과 LCD-NIR-HD50은 0.7 mm 두께의 액정 유리에 맞춰 보정되어 있습니다. LCD 모델은 450~790 nm에서 사용할 수 있으며 최대 NA 0.8과 0.34 µm의 분해능을 제공하므로, 디스플레이 유리를 통과한 명시야 관찰이나 정밀 레이저 가공에 적합합니다. 이처럼 M-iPLAN-APO NIR Series는 파장, 배율, NA, 작동 거리와 유리 두께를 실제 시스템 조건에 맞춰 선택할 수 있어 펨토초 레이저 미세가공과 근적외선 레이저 가공, 공정 위치 정렬 및 가공 상태 관찰을 하나의 광학계로 구성할 수 있습니다.
특징
■ 무한 보정 광학계를 적용한 근적외선 대물렌즈
■ 가시광에서 근적외선까지 넓은 파장 영역에 대한 수차 보정 설계
■ 정밀 관찰과 레이저 가공을 위한 고해상도 광학 성능
■ 동초점 거리(Parfocal Distance): 95 mm
■ 1.8 mm 또는 0.7 mm 두께의 액정 기판에 맞춰 보정된 3종의 고배율 대물렌즈 제공
■ 액정 기판을 통한 명시야 관찰과 레이저 재료 가공에 적합
제품 사양
Model number | M-iPLAN-APO | M-iPLAN-APO | M-iPLAN-APO | M-iPLAN-APO | M-iPLAN-APO |
Dimensional | |||||
Magnification | 5 X | 7 X | 10 X | 20 X | 50 X |
NA (Numerical Aperture) | 0.13 | 0.22 | 0.28 | 0.29 | 0.55 |
WD (Working Distance) | 44.6 mm | 36.4 mm | 34 mm | 31 mm | 13 mm |
F (Focal length) | 40 mm | 28.6 mm | 20 mm | 10 mm | 4 mm |
R (Resolving Power) | 2.12 um | 1.25 um | 0.98 um | 0.95 um | 0.5 um |
DOF (Depth Of Focal) | ±16.3 um | ±5.7 um | ±3.5 um | ±3.3 um | ±0.9 um |
Corresponding | 450 - 1800nm | 450 - 1800nm | 450 - 1800nm | 450 - 1800nm | 450 - 1800nm |
FD (Field Diameter) φ25 | φ5 mm | φ3.57 mm | φ2.5 mm | φ1.25 mm | φ0.5 mm |
Field Area on 1/2'CCD | 0.96 x 1.28 mm | 0.69 x 0.91 mm | 0.48 x 0.64 mm | 0.24 x 0.32 mm | 0.1 x 0.13 mm |
Transmittance data |
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Model number | M-iPLAN-APO | M-iPLAN-APO | M-iPLAN-APO | M-iPLAN-APO |
Dimensional | ||||
Magnification | 20 X | 50 X | 20 X | 50 X |
NA (Numerical Aperture) | 0.42 | 0.67 | 0.45 | 0.8 |
WD (Working Distance) | 20.68 mm | 10 mm | 16.7 mm | 3.34 mm |
F (Focal length) | 10 mm | 4 mm | 10 mm | 4 mm |
R (Resolving Power) | 0.65 um | 0.41 um | 0.61 um | 0.34 um |
DOF (Depth Of Focal) | ±1.6 um | ±0.6 um | ±1.4 um | ±0.4 um |
Corresponding wavelength | 450 - 1800nm | 450 - 1800nm | 450 - 790nm | 450 - 790nm |
FD (Field Diameter) φ25 | φ1.25 mm | φ0.5 mm | φ1.25 mm | φ0.5 mm |
Field Area on 1/2'CCD | 0.24 x 0.32 mm | 0.1 x 0.13 mm | 0.24 x 0.32 mm | 0.1 x 0.13 mm |
Transmittance data |
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*NIR-HD50: 1.8 mm cover glass is provided.
