P72 Piezo Objective Scanners
100μm Z축 이동과 높은 초점 안정성을 지원하는 현미경용 피에조 대물렌즈 스캐너
(CoreMorrow)
P72.Z100S/K는 현미경 대물렌즈의 Z축 초점 위치를 빠르고 정밀하게 제어하기 위해 설계된 피에조 대물렌즈 스캐너입니다. 대물렌즈 초점 조정이 필요한 현미경 검사, 이미지 처리, 공초점 현미경, 반도체 검사, 레이저 가공 및 간섭 형상 측정 응용에 적합하며, 0~120 V 기준 구동에서 80 μm의 Z축 이동 범위를 제공하고, 0~150 V 구동 시에는 최대 100 μm까지 이동할 수 있습니다. 0.2 kg 하중을 지원해 다양한 현미경 대물렌즈 구성에 적용할 수 있으며, 빠른 초점 이동과 반복적인 Z축 스캔이 필요한 고해상도 현미경 시스템에 효과적으로 사용할 수 있습니다.
이 제품은 단순한 대물렌즈 홀더가 아니라, 초점 안정성과 정밀 Z축 제어를 위해 설계된 피에조 구동 플랫폼입니다. 마찰 없는 플렉셔 힌지 병렬 가이드 메커니즘(Flexure Hinge Parallel Guiding Mechanism)을 적용해 안정적인 직선 운동과 높은 초점 재현성을 제공하며, 대물렌즈를 Z방향으로 빠르게 이동시켜 측정·관찰 정확도를 높이는 데 도움을 줍니다. P72.Z100S는 SGS 센서가 적용된 폐루프 모델로, 3 nm 해상도와 0.1% F.S. 선형성, 0.05% F.S. 반복성을 제공해 자동화 이미징과 반복 초점 제어가 필요한 시스템에 적합합니다. 반면 P72.Z100K는 개루프 모델로, 보다 간단한 구동 구성과 1 nm급 미세 제어가 필요한 실험 환경에 활용할 수 있습니다.
또한 P72.Z100S/K는 350 Hz의 무부하 공진 주파수와 폐루프 10 ms, 개루프 3 ms 수준의 빠른 스텝 응답을 제공해 초점 위치를 빠르게 전환해야 하는 현미경 응용에 유리합니다. 폐루프 모델은 100 g 하중 조건에서 70 Hz(-3 dB)의 동작 대역폭을 제공하며, 110/15 N의 push/pull force와 1.4 N/μm 강성을 기반으로 안정적인 Z축 구동 성능을 확보할 수 있습니다. E01.D3, E53, E52 피에조 컨트롤러와 조합해 사용할 수 있으며, 피에조 대물렌즈 스캐너, Z축 피에조 스캐너, 현미경 초점 제어 스테이지, 공초점 현미경 대물렌즈 스캐너, 반도체 검사 피에조 스캐너를 찾는 고객에게 P72.Z100S/K는 100 μm 이동 범위, 높은 초점 안정성, ms급 응답 성능을 함께 제공하는 실용적인 Z축 스캐닝 솔루션입니다.
특징
- 최대 100 μm 이동 범위를 제공하는 피에조 오브젝티브 스캐너
- 최대 0.2 kg 하중을 지원하는 정밀 오브젝티브 포지셔닝 구조
- 밀리초 단위 응답 시간으로 빠르고 정밀한 피에조 구동 지원
- 폐루프 제어 기반으로 높은 반복 정밀도 구현
- 개루프 및 폐루프 버전 선택이 가능한 피에조 오브젝티브 스캐너
주요 적용 분야
- Adjustment focus
- Image processing
- Confocal microscope
- Semiconductor inspection
- Laser processing
- Interference shape measurement
권장 컨트롤러
제품 사양
| Models | Suffix S-Closed loop Suffix K-Open loop | P72.Z100S | P72.Z100K | Units |
| Active axis | Z | Z | ||
| Drive control | 1 driving channel 1 sensing channel | 1 driving channel | ||
| Travel range（0~120V） | 80 | 80 | μm±10% | |
| Max.travel range（0~150V） | 100 | 100 | μm±10% | |
| Sensor type | SGS | - | ||
| Resolution | 3 | 1 | nm | |
| Linearity | 0.1 | - | %F.S. | |
| Repeatability | 0.05 | - | %F.S. | |
| Push/pull force | 110/15 | 110/15 | N | |
| Stiffness in motion direction | 1.4 | 1.4 | N/μm±20% | |
| Unloaded resonant frequency | 350 | 350 | Hz±20% | |
| Unloaded step time | 10 | 3 | ms±20% | |
| Closed-loop operating frequency（-3dB） | 70（@100g load） | - | Hz±20% | |
| Load capacity | 0.2 | 0.2 | kg | |
| El.capacitance | 3.6 | 3.6 | μF±20% | |
| Material | Steel | Steel | ||
| Mass | 150 | 150 | g±5% | |
참고 사항: 위 파라미터는 E00/E01 피에조 컨트롤러로 측정한 값임. 최대 구동 전압은 -20V~150V까지 가능하며, 높은 신뢰성과 장기 운용을 위해 권장 구동 전압은 0~120V임.
