P73 Piezo Objective Scanners
최대 1000μm Z축 이동과 장거리 초점 스캔을 지원하는 현미경용 피에조 대물렌즈 스캐너
(CoreMorrow)
P73 Piezo Objective Scanners는 현미경 대물렌즈의 Z축 초점 위치를 넓은 범위에서 빠르고 정밀하게 제어하기 위한 장거리 피에조 대물렌즈 스캐너입니다. 모델에 따라 0~150 V 구동 시 200 μm, 500 μm, 1000 μm의 최대 Z축 이동 범위를 제공하며, 장거리 초점 스캔이 필요한 현미경 이미징, 2광자 현미경, 공초점 현미경, 반도체 검사 및 레이저 가공 시스템에 적합합니다. 특히 P73.Z500S-C / P73.Z500K-C 모델은 최대 500 μm 이동 범위와 0.4 kg 하중을 지원해 넓은 Z축 스캔 범위와 실용적인 하중 대응력이 함께 필요한 현미경 응용에 효과적으로 사용할 수 있습니다.
이 제품군은 단순한 대물렌즈 홀더가 아니라, 장거리 Z축 스캔과 반복 초점 제어를 위해 설계된 피에조 구동 플랫폼입니다. 플렉셔 힌지 메커니즘(Flexure Hinge Mechanism)을 적용해 마찰 없는 움직임과 우수한 선형성, 높은 위치 정확도를 제공하며, 분리형 나사 어댑터 구조를 통해 다양한 현미경 대물렌즈 장착 조건에 대응할 수 있습니다. 폐루프 모델은 SGS 센서를 기반으로 높은 반복성과 안정적인 초점 위치 제어 성능을 제공해 자동화 이미징, 장시간 스캔, 정밀 측정 시스템에 적합하고, 개루프 모델은 보다 간단한 구동 구성과 빠른 응답이 필요한 실험 환경에 활용할 수 있습니다.
P73 시리즈는 적용 목적에 따라 이동 범위와 하중 조건을 선택할 수 있습니다. P73.Z200S/K는 최대 200 μm 이동과 0.2 kg 하중을 지원해 일반적인 초점 제어와 정밀 Z축 스캔에 적합하며, P73.Z500S-C/K-C는 최대 500 μm 이동과 0.4 kg 하중을 제공해 더 넓은 이미지 스택 획득이나 장거리 스캔에 유리합니다. P73.Z1000S/K는 최대 1000 μm 이동 범위를 제공해 매우 넓은 Z축 초점 이동이 필요한 현미경 시스템에 활용할 수 있습니다. 피에조 대물렌즈 스캐너, Z축 피에조 스캐너, 장거리 초점 제어 스테이지, 2광자 현미경용 피에조 스캐너, 공초점 현미경 Z축 스캐너를 찾는 고객에게 P73 시리즈는 장거리 이동 범위, 높은 초점 안정성, ms급 응답 성능을 함께 제공하는 현미경용 Z축 스캐닝 솔루션입니다.
특징
- 200 μm / 500 μm / 1000 μm 이동 범위 옵션을 제공하는 피에조 오브젝티브 스캐너
- 최대 0.2 kg 또는 0.4 kg 하중을 지원하는 정밀 오브젝티브 포지셔닝 구조
- 밀리초 단위 응답 시간으로 빠르고 정밀한 피에조 구동 지원
- 폐루프 제어 기반으로 높은 반복 정밀도 구현
- 우수한 포커싱 안정성으로 정밀 현미경 초점 제어 지원
주요 적용 분야
- Adjustment focus
- Image processing
- Confocal microscope
- Semiconductor inspection
- Laser processing
- Interference shape measurement
권장 컨트롤러
제품 사양
| Models | S-Closed loop K-Open loop | P73.Z200S P73.Z200K | P73.Z500S-C P73.Z500K-C | P73.Z1000S P73.Z1000K | Units |
| Active axis | Z | Z | Z |
| |
| Drive control | 1 driving channel 1 sensing channel | 1 driving channel 1 sensing channel | 1 driving channel 1 sensing channel |
| |
| Travel range（0~120V） | 160 | 400 | 800 | μm±10% | |
| Max.travel range（0~150V） | 200 | 500 | 1000 | μm±10% | |
| Sensor | SGS/- | SGS/- | SGS/- |
| |
| Closed/open loop resolution | 5.5/2 | 14/4 | 36/8 | nm | |
| Linearity | 0.1/- | 0.1/- | 0.5/- | %F.S. | |
| Repeatability | 0.05/- | 0.05/- | 0.3/- | %F.S. | |
| Push/pull force | 80/10 | 80/10 | 20/5 | N | |
| Stiffness | 0.25 | 0.2 | 0.02 | N/μm±20% | |
| Unloaded resonant frequency | 210 | 170 | 110 | Hz±20% | |
| Closed/open loop unloaded step time | 20/10 | 120@200g/10 | 150/25 | ms±20% | |
| Load | 0.2 | 0.4 | 0.2 | kg | |
| Capacitance | 7.2 | 14 | 43.2 | μF±20% | |
| Material | Steel, Al | Steel, Al | Steel, Al |
| |
| Mass | 210 | 300 | 786 | g±5% | |
참고 사항: 위 파라미터는 E00/E01 피에조 컨트롤러로 측정한 값임. 최대 구동 전압은 -20V~150V까지 가능하며, 높은 신뢰성과 장기 운용을 위해 권장 구동 전압은 0~120V임.
