XD730.100 Piezo Objective Scanner 

100μm 이동과 0.5kg 하중을 지원하는 현미경 초점 제어용 Z축 피에조 대물렌즈 스캐너 

(Coremorrow) 

 XD730.100 Piezo Objective Scanner는 현미경 대물렌즈의 Z축 위치를 빠르고 정밀하게 제어하기 위해 설계된 피에조 대물렌즈 스캐너입니다. 0~120 V 기준 구동에서 80 μm의 Z축 이동 범위를 제공하고, 0~150 V 구동 시에는 최대 100 μm까지 이동할 수 있어 현미경 초점 제어, Z축 포지셔닝 및 스캐닝, 표면 구조 분석처럼 나노미터급 대물렌즈 위치 제어가 필요한 응용 분야에 적합합니다. 최대 0.5 kg 하중을 지원하므로 비교적 무거운 대물렌즈를 사용하는 광학 시스템에도 안정적으로 적용할 수 있습니다.

 이 제품은 단순한 대물렌즈 홀더가 아니라, 고하중 조건에서도 정밀한 Z축 스캔을 구현하기 위한 피에조 구동 플랫폼입니다. 폐루프 모델은 SGS 센서를 통해 위치 피드백을 제공하며, 0.12% F.S. 선형성과 0.03% F.S. 반복성을 바탕으로 초점 위치 재현성이 중요한 자동화 현미경, 간섭 측정, 정밀 계측 시스템에 효과적으로 사용할 수 있습니다. 반면 개루프 모델은 보다 간단한 구동 구성과 5 nm급 분해능이 필요한 실험 환경에 활용할 수 있으며, 시스템 요구 조건에 따라 맞춤형 구성도 가능합니다.

 또한 XD730.100은 310 Hz의 무부하 공진 주파수와 빠른 스텝 응답을 제공해 Z축 초점 이동, 레이저 가공, 반도체 테스트, 표면 프로파일링 같은 고속·정밀 응용에 적합합니다. 알루미늄·스틸 기반의 구조와 190 g의 비교적 가벼운 질량을 갖추고 있어 기존 현미경 및 검사 장비에도 통합하기 쉽습니다. 피에조 대물렌즈 스캐너, Z축 피에조 스캐너, 현미경 초점 제어 스테이지, 레이저 가공용 Z축 스캐너, 반도체 테스트용 피에조 스테이지를 찾는 고객에게 XD730.100은 100 μm 이동 범위, 0.5 kg 하중, 나노미터급 위치 제어 성능을 함께 제공하는 실용적인 Z축 스캐닝 솔루션입니다.

특징 

 - Z축 정밀 모션 제어를 지원하는 피에조 오브젝티브 스캐너
 - 최대 100 μm 이동 범위를 제공하는 고정밀 Z축 포지셔닝 구조
 - 최대 0.5 kg 하중을 지원하는 정밀 오브젝티브 포지셔닝 구조
 - 폐루프 센서 옵션으로 고정밀 위치 제어 성능 확장 가능
 - 커스텀 사양 대응이 가능한 피에조 대물렌즈 스캐너

주요 적용 분야 

 - Focus microscopy

 - Laser processing

 - Z Positioning and Scanning

 - Surface Structure Analysis

 - Interference/metrology

 - Semiconductor testing

제품 사양 

참고 사항: 위 파라미터는 E00/E01 피에조 컨트롤러로 측정한 값임. 최대 구동 전압은 -20V~150V까지 가능하며, 높은 신뢰성과 장기 운용을 위해 권장 구동 전압은 0~120V임.

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