P75.Z200S/K
3D 이미징·공초점 현미경용 250μm Z축 피에조 대물렌즈 스캐너
(CoreMorrow)
P75.Z200S/K는 현미경 대물렌즈의 Z축 위치를 빠르고 정밀하게 제어하기 위한 피에조 대물렌즈 스캐너(Piezo Objective Scanner)입니다. 3D 이미징, 공초점 현미경, 간섭 측정, 바이오테크놀로지, 표면 구조 분석 및 반도체 테스트처럼 초점 위치를 빠르게 이동하거나 반복적으로 스캔해야 하는 응용 분야에 적합합니다. 0~120 V 기준 구동에서 200 μm의 Z축 이동 범위를 제공하고, 0~150 V 구동 시에는 최대 250 μm까지 이동할 수 있어, 일반적인 미세 초점 조정뿐 아니라 비교적 넓은 Z축 스캔 범위가 필요한 현미경 시스템에도 효과적으로 적용할 수 있습니다.
이 제품은 단순한 대물렌즈 홀더가 아니라, 정밀 Z축 스캔을 위해 설계된 고성능 피에조 구동 플랫폼입니다. 플렉셔 힌지 메커니즘(Flexure Hinge Mechanism)을 적용해 마찰 없는 움직임과 우수한 선형성, 높은 위치 정확도를 제공하며, 분리형 나사 어댑터 구조를 통해 다양한 대물렌즈 장착 조건에 대응할 수 있습니다. 특히 P75.Z200S는 SGS 센서가 적용된 폐루프 모델로, 6 nm 해상도와 0.125% F.S. 선형성, 0.05% F.S. 반복성을 제공해 초점 위치 재현성이 중요한 자동화 이미징 및 정밀 측정 시스템에 적합합니다. 반면 P75.Z200K는 개루프 모델로, 보다 간단한 구동 구성과 2.5 nm 수준의 높은 분해능이 필요한 실험 환경에 활용할 수 있습니다.
또한 P75.Z200S/K는 0.2 kg 하중을 지원하며, 389 Hz의 무부하 공진 주파수와 폐루프 모델 기준 20 Hz(-3 dB) 동작 대역폭을 갖춰 안정적인 Z축 스캔 성능을 제공합니다. 폐루프 모델은 25 ms, 개루프 모델은 10 ms 수준의 빠른 스텝 응답을 제공하므로, 대물렌즈 초점 제어, 3D 이미지 스택 획득, 표면 프로파일링, 공초점 스캔 시스템에 유용합니다. 피에조 대물렌즈 스캐너, Z축 피에조 스캐너, 공초점 현미경 대물렌즈 스캐너, 3D 이미징용 피에조 스테이지, 현미경 초점 제어 스테이지를 찾는 고객에게 P75.Z200S/K는 250 μm 이동 범위와 나노미터급 위치 제어 성능을 함께 제공하는 정밀 Z축 스캐닝 솔루션입니다.
특징
- 최대 250 μm 이동 범위를 제공하는 Z축 피에조 오브젝티브 스캐너
- 최대 0.2 kg 하중을 지원하는 고정밀 오브젝티브 포지셔닝 구조
- 무부하 공진 주파수 최대 389 Hz로 빠른 응답 특성 제공
- 분리형 나사 어댑터 설계로 다양한 대물렌즈 장착 구성 지원
주요 적용 분야
- 3D imaging
- Interference/metering
- Biotechnology
- Confocal microscope
- Surface structure analysis
- Semiconductor test
권장 컨트롤러
제품 사양
| Type | S-Closed loop | P75.Z200S | P75.Z200K | Units |
| K-Open loop | ||||
| Active axes | Z | Z |
| |
| Drive control | 1 driving channel 1 sensing channel | 1 driving channel |
| |
| Nominal travel range(0~120V) | 200 | 200 | µm±10% | |
| Max.travel range(0~150V) | 250 | 250 | µm±10% | |
| Integrated sensor | SGS | - |
| |
| Resolution | 6 | 2.5 | nm | |
| Linearity | 0.125 | - | %F.S. | |
| Repeatability | 0.05 | - | %F.S. | |
| Push/pull force | 25/10 | 25/10 | N | |
| Stiffness | 0.1 | 0.1 | N/μm±20% | |
| Unloaded resonant frequency | 389 | 389 | Hz±20% | |
| Closed-loop operating frequency (-3dB) | 20 | - | Hz±20% | |
| Step time | 25 | 10 | ms±20% | |
| Load capacity | 0.2 | 0.2 | kg | |
| El. capacitance | 6.5 | 6.5 | μF±20% | |
| Material | AI,Steel | AI,Steel |
| |
| Mass | 225 | 225 | g±5% | |
- 다음 제품이 없습니다.
- P76F.Z80S/K - 90μm 고하중 Z축 피에조 대물렌즈 스캐너
